Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems - Francis E H Tay - Boeken - Springer-Verlag New York Inc. - 9781402071751 - 31 augustus 2002
Indien omslag en titel niet overeenkomen, is de titel correct

Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems 2002 edition

Prijs
€ 144,99

Besteld in een afgelegen magazijn

Verwachte levering 12 - 22 jun.
Voeg toe aan uw iMusic-verlanglijst

Ook verkrijgbaar als:

Although standard IC fabrication steps, particularly lithographic techniques, are leveraged heavily in the creation of MEMS devices, additional customized and novel micromachining techniques are needed to develop sophisticated MEMS structures.


299 pages, biography

Media Boeken     Hardcover Book   (Boek met harde rug en kaft)
Vrijgegeven 31 augustus 2002
ISBN13 9781402071751
Uitgevers Springer-Verlag New York Inc.
Pagina's 299
Afmetingen 155 × 235 × 19 mm   ·   712 g
Taal en grammatica Engels  
Uitgever Tay, Francis E. H.

Meer door Francis E H Tay

Alles tonen

Mere med samme udgiver