Rapid Thermal Processing: Science and Technology - Fair - Boeken - Elsevier Science Publishing Co Inc - 9780122476907 - 15 april 1993
Indien omslag en titel niet overeenkomen, is de titel correct

Rapid Thermal Processing: Science and Technology


Ontvang een e-mail zodra het artikel beschikbaar is
Heb je een profiel? Inloggen
Voeg toe aan uw iMusic-verlanglijst

Discusses rapid thermal processing (RTP), an essential manufacturing technology for single-wafer processing in highly controlled environments. The text provides information on the suitability of RTP for thin film deposition, junction formation, silicides, epitaxy and "in situ" processing.


430 pages

Media Boeken     Hardcover Book   (Boek met harde rug en kaft)
Vrijgegeven 15 april 1993
ISBN13 9780122476907
Uitgevers Elsevier Science Publishing Co Inc
Pagina's 430
Afmetingen 152 × 229 × 25 mm   ·   725 g
Uitgever Fair, Richard B.

Meer door Fair

Alles tonen

Mere med samme udgiver